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講一講微流控芯片刻蝕過程相關(guān)注意事項
講一講微流控芯片刻蝕過程相關(guān)注意事項
更新時間:2022-05-23 | 點擊率:1131
微流控芯片
是一種以在微納米尺度空間中對流體進行操控為主要特征的科學(xué)技術(shù),具有將生物、化學(xué)等實驗室的基本功能諸如樣品制備、反應(yīng)、分離和檢測等縮微到一個幾平方厘米芯片上的能力,其基本特征和優(yōu)勢是多種單元技術(shù)在整體可控的微小平臺上靈活組合、規(guī)模集成。作為一種微全分析技術(shù)平臺可以應(yīng)用于各個分析領(lǐng)域,如生化醫(yī)療診斷、食品和商品檢驗、環(huán)境監(jiān)測、刑事科學(xué)、軍事科學(xué)和航天科學(xué)等重要應(yīng)用領(lǐng)域,其中生物醫(yī)學(xué)分析是熱點。
由于微流控芯片的構(gòu)件尺寸和細胞吻合,并可同時測定物理量、化學(xué)量和生物量,它已成為對哺乳動物細胞及其微環(huán)境進行操控的*潛力的平臺,可以用于仿生實驗室。目前已可以構(gòu)建微米量級且相對封閉的三維細胞培養(yǎng)、分選、裂解等操作單元,并把這些單元成功延伸到組織和器官。器官芯片是一種更接近仿生體系的模式,可在一塊幾平方厘米的芯片中培養(yǎng)各種活體細胞,形成組織器官,乃至由不同器官芯片進一步組成活體芯片,從而模擬一個活體的行為并研究活體中整體和局部的種種關(guān)系。在藥學(xué)領(lǐng)域,器官芯片將被部分替代小白鼠等模型動物,用于驗證候選藥物,開展毒理和藥理作用研究。
微流控芯片刻蝕過程相關(guān)注意事項:
光刻板制好后就可以進行常規(guī)的光刻刻蝕工藝了,一般做微流控芯片的刻蝕深度都比較深,有時候可能需要先做一層硬掩模,厚度與刻蝕深度相關(guān)。刻蝕的時候一般選擇等離子體刻蝕進行加工,對于不同的材料選擇不同的氣源。等離子體刻蝕是一種以化學(xué)反應(yīng)為主的干法刻蝕工藝,刻蝕氣體分子在高頻電場作用下,產(chǎn)生等離子體。等離子體中的游離基化學(xué)性質(zhì)十分活潑,利用它和被刻蝕材料之間的化學(xué)反應(yīng),達到刻蝕芯片的目的。
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